性能指标：
（1）测量范围  电阻率：10-5～105 Ω.cm
（2）方块电阻：10-4～106 Ω/□
（3）电导率：10-5～105 s/cm
（4）电阻：10-5～105 Ω
（5）可测晶片直径：200 mm × 200 mm
（6）恒流源：电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100m
（7）六档：各档电流连续可调
（8）数字电压表量程及表示形式：000.00～199.99 mV
（9）分辨力：10 μV
（10）输入阻抗：>1000MΩ
（11）精度：±0.1%
（12）显示：四位半红色发光管数字显示

适用领域：主要用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）。